Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .07

Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source

이승민 ,  김경남 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

Etching characteristics of Al-Nd alloy thin films using magnetized inductively coupled plasma

Y.J. Lee ,  H.R. Han ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구

申泓旻 ,  崔景喆 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

손의정 ,  김동현 ,  이호준

전기학회논문지

2016 .10

Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency

김태형 ,  김경남 ,  이승민 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

자화주파수에 따른 플라즈마 및 산화막식각특성에 관한 연구

김진우 ,  조수범 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Magnetized inductively coupled plasma etching of GaN in Cl₂/BCl₃plasmas

Y.H. Lee ,  Y.J. Sung ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

Inductively coupled plasma를 이용한 ITO표면의 O₂ plasma 처리 후 유기 발광 소자의 특성

김미숙 ,  정창현 ,  임종태 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

Surface Modification Cr Plated SS316L by Inductively Coupled Plasma Nitriding

Dong Hoon Han ,  Won Hyuk Hong ,  Boh Wan Pak 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Inductively Coupled Plasma Etcher를 이용한 Pt 박막의 식각 ( Inductively Coupled Plasma Etching of Pt Thin Films )

이희습 ,  이종근 ,  정형섭 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

자화된 유도 결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드성 탄소박막 증착

김중균 ,  이호준 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Plasma Characteristics of (DF-ICP) Dual Frequency Inductively Coupled Pulsed Plasma Source

Jin. Seock. Seo ,  Kyung ,  Jun 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

김윤기 ,  손의정 ,  위성석 외 2명

전기학회논문지

2015 .04

컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구

손의정 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .07

컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구

손의정 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .10