Application of Inductively Coupled Plasma (ICP) to the Deposition of the Barrier Coatings and Nitriding of SUS 316L for PEMFC (polymer electrolyte membrane fuel cell) Bipolar Plate

H.S. Choi ,  D.H. Han ,  W.H. Hong 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .07

Dry Etching Characteristics of TiN Thin Films in BCl_(3-) Based Plasma

Jong-Chang Woo ,  Jung-Soo Pa ,  k 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2011 .01

Plasma Properties of Dual-Frequency Inductively Coupled Plasma Source

이승민 ,  김경남 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

Enhanced Inductively Coupled Plasma의 자화 주파수 의존 특성

라상호 ,  박세근 ,  오범환

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

Inductively coupled plasma를 이용한 ITO표면의 O₂ plasma 처리 후 유기 발광 소자의 특성

김미숙 ,  정창현 ,  임종태 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency

김태형 ,  김경남 ,  이승민 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

The Corrosion and Electrical Properties of AISI 316L by Plasma Nitriding for PEMFC

Won Hyuk Hong ,  Dong Hoon Han ,  Jung Joong Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Inductively Coupled Plasma Etcher를 이용한 Pt 박막의 식각 ( Inductively Coupled Plasma Etching of Pt Thin Films )

이희습 ,  이종근 ,  정형섭 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구

문경일 ,  변상모 ,  조용기 외 2명

열처리공학회지

2005 .01

Corrosion and Electrical Properties of the Ti_xCr_(1-x)N Coatings on SUS316L for PEMFC Bipolar Plate Prepared by ICP Assisted DC Magnetron Sputtering

H.S. Choi ,  J.J. Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

ICP 플라즈마를 이용한 W$N_{x}$의 이방성 식각

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .10

Inductively coupled plasma application in CW Laser Propulsion

Takayoshi Inoue ,  Kohei Kojima ,  Susumu Ueha 외 6명

한국추진공학회 학술대회논문집

2004 .05

Modifications of Interface Between Polyurethane and Poly(Ethylene Terephthalate) Film by Inductively Coupled Plasma Treatments

Dong Cheul Han ,  Han Jae Shin ,  Doo Hyung Lee 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

유도결합 플라즈마 증발법을 이용한 CrN 박막 증착에 관한 연구

정승재 ,  이광희 ,  주정훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

Platinum Etching in an Inductively Coupled Cl2 Plasma

C. S. Yoon ,  T. S. Kim ,  J. G. Lee 외 8명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01