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저널정보
대한전기학회 정보 및 제어 논문집 2006 정보 및 제어 심포지엄 논문집
발행연도
2006.4
수록면
342 - 344 (3page)

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During last years, large investments have been directed to development and research of nano-technological products like semiconductor, display panel, optic-fiber communication components, life technology, and ultra-precision components. All quantitative measurements at nanometre scale should guarantees accurate results and high quality.
Laser interferometer is one of most famous nanometre scale devices to be able to measure me ... 전체 초록 보기
#Laser Interferometer(레이저 간섭계) #Capacitive Sensor(정전용량센서) #Error Correction(오차 보정)

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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