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이용수
Abstract
1. 서론
2. 시료 제작 및 측정
3. 실험결과 및 검토
(참고문헌)
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N/O(Si₃N₄/SiO₂) 유전막의 TDDB 특성에 미치는 상부산화조건의 영향
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
N / O ( Si3N4 / SiO2 ) 유전막의 Tddb 특성에 미치는 상부산화조건의 영향 ( Effects of Top OxIdation Condition on Tddb Characteristics of N / O ( Si3N4 / SiO2 ) Dielectric Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
The Impact of TDDB Failure on Nanoscale CMOS Digital Circuits
한국산업정보학회논문지
2012 .09
스트레스전압 극성에 따른 얇은 산화막의 TDDB 특성 ( The TDDB Characteristics of Thin SiO2 with Stress Voltage Polarity )
전자공학회논문지
1989 .05
얇은 산화막의 광 조사후 TDDB특성에 관한 연구 ( The reserch on the TDDB of thin film after the irradiation )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
Reliability Analysis Framework for Time Dependent Dielectric Breakdown
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2020 .02
얇은 절연막의 TDDB 분석과 전기적 특성
산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소
1988 .01
Analysis of Time Dependent Dielectric Breakdown in Nanoscale CMOS Circuits
대한전자공학회 ISOCC
2011 .11
정전류 Stress 하에서의 얇은 산화막의 TDDB 특성 ( The TDDB Characteristics of Thin Si02 under Constant Stress Condition )
대한전자공학회 학술대회
1988 .11
Dielectric oxide thin film의 electrical breakdown mechanism 에 대한 비교 연구 ( Comparative study of mechanisms of electrical breakdown in oxide thin films )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
퍼콜레이션 모델을 이용한 게이트 옥사이드의 신뢰성 예측
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2008 .05
Aspects of Hard Breakdown Characteristics in a 2.2-nm-thick SiO₂ Film
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2002 .09
N2O 질화산화막의 성장 방법 및 면적에 따른 TDDB 특성
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
저온 산화공정에 의해 낮은 D를 갖는 실리콘 산화막의 제조
공업화학
1998 .01
The Effects of NO-nitridation of Gate Oxide on Qbd and TDDB under Dynamic Stress
전기학회논문지
1998 .01
The reliability analysis in gate oxide of MOSFET via percolation models
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2008 .11
N2O 질화산화막을 갖는 MOS 캐패시터의 TDDB 특성 ( TDDB Properties of MOS Capacitors with N2O Oxynitride Layer )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
HK/MGFET’s 의 Accumulation TDDB Modeling
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
SiH4 / N2 / N2O 플라즈마에서 증착한 산화막내에 함유된 N 이 산화막의 구조적 특성 및 전기적 특성에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
다결정 및 다층구조 BaTiO₃ Time-Dependent Dielectric Breakdown 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
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