공정 조건이 N2O 산화막의 전기적 특성에 미치는 영향

김형섭 ,  김선우 ,  강석봉 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

고온산화처리에 의해 상분리된 희토류 함유 산화우라늄의 오존산화반응 특성

이재원 ,  양문상 ,  박장진 외 2명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2008 .01

SiH₄를 이용한 텅스텐의 화학증착시 압력증가가 증착에 미치는 영향

박재현 ,  이정중 ,  금동화

한국표면공학회지

1993 .02

디지털 합금방법으로 성장한 Al_xGa₁-_xA층의 균일한 산화

최양화 ,  장기수 ,  이용탁

한국통신학회 기타 간행물

2004 .11

SiH₄ 플라즈마중의 전자수송특성 해석

이형윤 ,  하성철 ,  김대연

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

유체 시뮬레이션을 이용한 N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마 특성 연구

서권상 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .10

SiH₄-H₂계에서 유체유동이 Si의 화학증착에 미치는 영향

趙星昱 ,  李京雨 ,  曹映煥 외 1명

한국표면공학회지

1990 .09

$H_2O_2$와 $SiH_4$를 이용한 LPCVD 유동 산화막의 특성

안상태 ,  박상균 ,  김시범 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

SiH₄ 가스의 에너지 분포함수 관한 연구

성낙진 ,  김상남

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

증착 압력이 a-Si:H막의 전도도와 광학적 특성에 미치는 영향

전법주 ,  정일현

공업화학

1999 .01

$LiOH-H_{3}BO_{3}$ 용액중 Zircaloy-4 핵연료 피복관의 부식가속과 억제

한정호

한국재료학회지

1995 .01

산화 분위기에 따른 게이트 산화막의 전기적 특성 분석

정회환 ,  김동식 ,  정관수

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

산화 분위기에 따른 게이트 산화막의 전기적 특성 분석 ( An Analysis of Electrical Characteristics of Gate Oxides by Oxidation Ambience )

정회환 ,  김동식 ,  정관수

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

nylon 6와66, PE의 초기 열 산화반응형태와 산화방지제의 효과

김상우 ,  서관호 ,  박준현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .10

LPCVD-Si₃N₄ 박막의 열 산화

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

통계적 실험계획법을 이용한 HDP-CVD로 증착된 실리콘 산화막 공정조건 최적화에 관한 연구

유경한 ,  김조원 ,  홍상진

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

얇은 산화막의 TDDB특성과 막내의 결함과의 상관성

성영권 ,  최종일 ,  김상영 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .11

플라즈마 원자층 증착법을 이용한 구리배선용 텅스텐 나이트라이드 확산 방지막의 특성평가

박지호 ,  심현상 ,  김용태 외 2명

한국산학기술학회 학술대회논문집

2004 .11