$SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 ICP 식각 특성

한윤봉 ,  박진수 ,  임연호 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

PREPARATION AND PROPERTIES OF $SrBi_2Ta_2_9$ FERROELECTRIC THIN FILMS

Lee ,  Chi-Heon ,  Choi 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

새로운 열처리법을 통한 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 저온 성장

이관 ,  최훈상 ,  허재성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

비휘발성 메모리용 SrBi2Ta2O9 강유전체 박막의 제조 및 특성연구 ( Preparation and Characterization of SrBi2Ta2O9 Ferroelectric Thin Films for Nonvolatile Memory )

장호정 ,  서광종 ,  장지근

전자공학회논문지-D

1998 .03

산소 분압 열처리 조건이 $SrBi_2Ta_2O_9/$ 박막의 강유전특성에 미치는 영향

이관 ,  최훈상 ,  이종한 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Ferroelectric Characteristics of SrBi2Ta2O9 Thin Film on the Various Substrate for Nvfram

Kwang Jun Cho ,  Tae Kwon Song ,  Jeon Kook Lee 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Preferred Orientation and Crystallography of Ferroelectric SrBi2Ta2O9 Thin Film

권현자 ,  김현하 ,  이정수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Etch Stop Characteristics of $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Film by Using $CeO_2$ Buffer Layer

권영석 ,  심선일 ,  김용태 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

SF₆/Ar 가스 플라즈마에 의한 SrBi₂Ta₂O₉ 박막의 식각 메커니즘 연구

김동표 ,  서정우 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

플라즈마를 이용한 유기금속 화학증착법에 의한 강유전체 $SrBi_2Ta_2O_{9}$ 박막의 제조

성낙진 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Neural Network을 위한 Metal-Ferroelectric ( SrBi2Ta2O9 ) - Metal-Si 구조의 전기적 특성

신동석 ,  이호녕 ,  김용태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 증착된 $SrBi_{2}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 전기적 특성

이상열 ,  서광종 ,  장지근 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

MOD법으로 제조한 $SrBi_{2x}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 열처리 공정에 따른 전기적 특성

연대중 ,  최재식 ,  박주동 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성

이영식 ,  나선웅 ,  이내응 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

Etching characteristics of Al-Nd alloy thin films using magnetized inductively coupled plasma

Y.J. Lee ,  H.R. Han ,  G.Y. Yeom

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

MEICP 식각에 의한 SBT 박막의 표면 반응 연구 ( The Study on the Surface Reaction of SrBi2 Ta2O9 Film by Magnetically Enhanced Inductively Coupled Plasma )

김동표 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2000 .04

Fabrication of Integrated PZT Ferroelectric Capacitor using Inductively Coupled Plasma

Chang Jung Kim ,  June Key Lee ,  Chee Won Chung 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Inductively Coupled Plasma Etcher를 이용한 Pt 박막의 식각 ( Inductively Coupled Plasma Etching of Pt Thin Films )

이희습 ,  이종근 ,  정형섭 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구

조성환 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10