개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd
한국표면공학회지
1996 .12
RF magnetron plasma CVD에 의한 DLC 박막의 합성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1994 .10
RF 플라즈마 CVD에 의한 CH₄-H₂-O₂ 혼합 기체로부터 다이아몬드 박막의 합성
전기학회논문지
1998 .11
RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .07
LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIOx FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR
한국표면공학회지
1996 .12
RF 플라즈마 기상증착법에 의한 다이아몬드 박막 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
고주파 플라즈마 CVD에 의한 저 압력에서의 다이아몬드 막의 성장
전기학회논문지 C
2001 .02
RF Plasma CVD법에 의한 초경합금에의 일방정질화붕소막의 피복
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .05
고주파플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드상 탄소박막의 합성
전기학회논문지
1990 .10
Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma CVD Process
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
Control of plasma CVD films containing group IV nanoparticles
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
DC Plasma CVD 법에 의한 다이아몬드의 성장에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1993 .11
Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
RF Planar Magnetron Plasma CVD에 의한 DLC박막합성에 미치는 RF Power와 반응가스 압력의 영향
한국재료학회지
1997 .01
Plasma CVD 에 의한 DLC 박막 제작시 수소가스의 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
Crystallinity of ZnO Thin Films Prepared by RF Plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
450mm 반도체 CVD 장비 및 300mm F-CVD 공정용 8kW급 주파수 가변형 RF Generator 개발
전력전자학회 학술대회 논문집
2014 .07
XPS STUDY ON SN-DOPED DLC FILMS PREPARED BY RF PLASMA-ENHANCED CVD
한국표면공학회지
1996 .10
0