기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석

소순진 ,  유인성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 증착온도에 따른 구조 및 전기적 특성

오수영 ,  김응권 ,  이태용 외 3명

전기전자재료학회논문지

2007 .01

Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성

소순진 ,  박춘배 ,  왕민성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

박막트랜지스터 구동회로용 ZnO 박막의 구조적 특성에 관한 연구

손지훈 ,  김상현 ,  김홍승 외 1명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2013 .01

As 확산이 ZnO 박막의 특성에 미치는 효과

윤욱희 ,  명재민 ,  이동희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

금속 촉매가 ZnO 박막을 감지물질로 이용한 NO 센서의 특성에 미치는 영향

정귀상 ,  정재민

센서학회지

2010 .01

ZnO 및 ZnO:Fe 박막의 전기적 광학적 특성

崔聖休 ,  金亨坤

전기학회논문지

1989 .05

RF 출력이 ZnO 박막의 전기·광학적 특성에 미치는 영향

신동휘 ,  변창섭 ,  김선태

한국재료학회지

2012 .01

The effects of the microstructure of ZnO films on their thin film transistors

전하석 ,  박경 ,  김형섭 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

ZnO 박막의 전기적 구조적 특성에 미치는 수소 분압비의 영향

이성훈 ,  신민근 ,  변응선 외 3명

한국표면공학회지

2006 .12

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구

이승환 ,  강광용 ,  유윤식

한국전자파학회논문지

2014 .12

As이 첨가된 ZnO 박막의 특성에 관한 연구

황득규 ,  박규현 ,  홍민기 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Electrical and Optical Properties of p-type ZnO:P Fabricatedby Ampoule-tube Vapor-state Diffusion

Soon-Jin So ,  Sang-Hyun Oh ,  Choon-Bae Pa 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2008 .01

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

In-situ 분위기 Annealing에 따른 ZnO/Sapphire(0001) 박막의구조적 특성 분석

유인성 ,  왕민성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12