RF magnetron plasma CVD에 의한 DLC 박막의 합성

김성영 ,  이재성

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1994 .10

Plasma CVD 에 의한 DLC 박막 제작시 수소가스의 영향

문양식 ,  이재성 ,  이해승 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12

투명 DLC 코팅기술에 관한 연구

신영호 ,  김태규 ,  김남경

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2011 .06

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

Microstructure and Properties of Si-DLC Film fabricated by using HMDS gas and RF-CVD process

Byung Ju Song ,  Tae Gyu Kim ,  Gyeung-ho Kim 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF Planar Magnetron Plasma CVD에 의한 DLC박막합성에 미치는 RF Power와 반응가스 압력의 영향

김성영 ,  이재성

한국재료학회지

1997 .01

Plasma Enhanced CVD 법으로 증착한 BON박막과 Si-DLC 박막의 산화

김찬우 ,  홍리석 ,  이동복

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

DLC 코팅된 60E1(UIC60) 강의 건조 마찰에서의 미끄럼 마찰 거동

김종형 ,  정재일 ,  김재원 외 4명

대한기계학회 논문집 A권

2020 .02

Characterization and Application of DLC Films Produced by New Combined PVD-CVD Technique

Chekan ,  N.M. ,  Kim 외 5명

열처리공학회지

2010 .01

RF Induced Bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향

손영호 ,  박형국 ,  정재인 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

Crystallinity of ZnO Thin Films Prepared by RF Plasma CVD

Kenta ,  o Suzuki ,  Takahi 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

De saddle-field plasma CVD로 제작한 다이아몬드상 카본 박막

유영조 ,  김효근 ,  정용근 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RF Plasma CVD에 의한 TMDSO/O₂의 합성과 박막의 특성에 관한 연구

김인성 ,  김귀열 ,  강동필 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

Tribolgical Characteristics of DLC Film using Substrates with Varying Hardness

Jae-Hong Pa ,  k ,  Beom-Taek Jang 외 1명

KTS International Journal

2008 .12

NITROGEN DOPED DIAMOND LIKE CARBON FILM SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CVD

Ryoichi URAO ,  Osamu HAYATSU ,  Toshihi 외 2명

한국표면공학회지

1996 .10

플라즈마 분광 분석을 통한 DLC 박막의 구조 특성 연구

강신구 ,  김준우 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Segment-structured DLC Deposition on Three-Dimensional Substrate

Mai Takashima ,  Kei Kanzawa ,  Shin Matsuo 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

Tribological properties of DLC films on polymers

T. HASHIZUME ,  S. MIYAKE ,  S. WATANABE 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .10

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07