RF Planar Magnetron Plasma CVD에 의한 DLC박막합성에 미치는 RF Power와 반응가스 압력의 영향

김성영 ,  이재성

한국재료학회지

1997 .01

Plasma CVD 에 의한 DLC 박막 제작시 수소가스의 영향

문양식 ,  이재성 ,  이해승 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

XPS STUDY ON SN-DOPED DLC FILMS PREPARED BY RF PLASMA-ENHANCED CVD

Y. Inoue ,  T. Komoguchi ,  H. Nakata 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

투명 DLC 코팅기술에 관한 연구

신영호 ,  김태규 ,  김남경

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2011 .06

Magnetron PECVD 에 의한 DLC 박막의 제작에 관한 연구

김성영 ,  이재성 ,  박진석

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

RF Induced Bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향

손영호 ,  박형국 ,  정재인 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

Microstructure and Properties of Si-DLC Film fabricated by using HMDS gas and RF-CVD process

Byung Ju Song ,  Tae Gyu Kim ,  Gyeung-ho Kim 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF Plasma CVD에 의한 TMDSO/O₂의 합성과 박막의 특성에 관한 연구

김인성 ,  김귀열 ,  강동필 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

RF 플라즈마 CVD에 의한 CH₄-H₂-O₂ 혼합 기체로부터 다이아몬드 박막의 합성

李常熙 ,  李德出

전기학회논문지

1998 .11

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

De saddle-field plasma CVD로 제작한 다이아몬드상 카본 박막

유영조 ,  김효근 ,  정용근 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

플라즈마 분광 분석을 통한 DLC 박막의 구조 특성 연구

강신구 ,  김준우 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Plasma Enhanced CVD 법으로 증착한 BON박막과 Si-DLC 박막의 산화

김찬우 ,  홍리석 ,  이동복

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

PE-CVD 공정을 통한 DLC 코팅면의 이형성 특성 연구

남성호 ,  강은구 ,  변경원 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .10

Tribological properties of DLC films on polymers

T. HASHIZUME ,  S. MIYAKE ,  S. WATANABE 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .10

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12