대기압 플라즈마 유동장에 삽입된 랑뮤어 프로브의 영향에 관한 수치적 연구

백재상 ,  황정훈 ,  이종철 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .11

신경망을 이용한 박막공정장비의 플라즈마 전위 모델링

김수연 ,  김병환

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .10

Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 측정

이영환 ,  조주웅 ,  김광수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

우주탐사 탑재체 보정을 위한 플라즈마 발생장치의 개발 및 초기 운용 결과

유광선 ,  차원호 ,  신구환 외 3명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Langmuir 프로브 전압의 파형에 따른 아르곤 플라즈마의 전자에너지 분포함수 측정에 관한 연구

金斗煥 ,  朴正后

전기학회논문지 C

1999 .05

선 대 평판형 플라즈마 반응기 제작을 위한 전위 및 전계 해석

李東勳

전기학회논문지 P

2003 .12

CFD 분석을 통한 열플라즈마 측정법 향상

이종철 ,  허중식 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .04

랑뮤어 탐침과 컷오프 탐침을 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

손의정 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

흑색종 세포에 대한 플라즈마와 전기장의 효과 연구

손채화 ,  최영욱 ,  정순신 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

Experiment and characteristics for size of a planar rf-antenna in Inductively coupled plasma

이효창 ,  방진영 ,  정진욱

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

신경망을 이용한 박막공정장비의 플라즈마 전위 모델링

김수연 ,  김병환

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .10

대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구

김진성 ,  방진영 ,  이효창 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

고체기준전극 및 원격전위측정 시스템 개발에 관한 연구

류영돈 ,  김진준 ,  김동균

한국가스학회지

2015 .06

이차원 하이브리드 모델을 이용한 원통형 플라즈마내의 Langmuir Probe 동작해석

金燻 ,  Robe ,  t K. Po 외 1명

전기학회논문지

1995 .06

좁은 간격 CCP 전원의 전극과 측면 벽 사이 플라즈마 분포

최명선 ,  장윤창 ,  이석환 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

저온 플라즈마 발생과 응용

李奉柱

전기학회논문지 C

2002 .09

초음속 플라즈마의 광 진단 및 시각화를 통한 특성 평가

문세연 ,  김민호 ,  서준호 외 4명

한국추진공학회 학술대회논문집

2012 .11