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저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 CICS 정보 및 제어 학술대회 논문집
발행연도
2007.10
수록면
175 - 176 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2008

펄스드 이온에너지 패턴의 신경망 시계열 모델링과 플라즈마 감시에의 응용
김수연 ,  김병환 대한전기학회 학술대회 논문집 2008.07 학술대회자료
펄스드 이온에너지 패턴의 신경망 시계열 모델링과 플라즈마 감시에의 응용
김수연 ,  김병환 대한전기학회 학술대회 논문집 2008.07 학술대회자료

2007

신경망을 이용한 박막공정장비의 플라즈마 전위 모델링
김수연 ,  김병환 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료
신경망을 이용한 박막공정장비의 플라즈마 전위 모델링
김수연 ,  김병환 대한전기학회 학술대회 논문집 2007.10 학술대회자료
반구형 유도결합플라즈마 장비의 전자온도 신경망 모델
김수연 ,  김우석 ,  김병환 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007.04 학술대회자료

초록· 키워드

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Radial Basis Function Network (RBFN)을 이용하여 플라즈마 전위의 예측 모델을 개발하였다. RBFN의 예측성능은 Genetic Algorithm (GA)를 이용하여 최적화 하였다. 체계적인 모델링을 위해 통계적인 실험계획법이 적용되 ... 전체 초록 보기

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