3D ICP에서 multi-segment antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 모델링

양원균 ,  김영욱 ,  고석일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

Experiment and characteristics for size of a planar rf-antenna in Inductively coupled plasma

이효창 ,  방진영 ,  정진욱

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석

김이슬 ,  이재욱

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .11

대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

저압 유도결합 플라즈마(ICP)의 연구동향

이홍식 ,  노영수 ,  김윤택

전기의세계

1994 .03

직병렬 유도결합형 안테나를 이용한 대면적 플라즈마 소스 연구

김봉주 ,  이승걸 ,  오범환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구

신홍민 ,  최경철 ,  김원규 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구

申泓旻 ,  崔景喆 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

디스플레이 공정용 ICP 장비에서 안테나 구조 변화에 따른 플라즈마 변수 비교

이영준 ,  오선근 ,  최희환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

300㎜ 웨이퍼용 식각 장비에서 안테나에 의한 플라즈마 균일도 모델링

양원균 ,  주정훈 ,  남창길

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구

김홍범 ,  이형철 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

보조 안테나를 이용한 측면형 페라이트 ICP의 플라즈마 변수 제어

방진영 ,  조성원 ,  김아람 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구

정승재 ,  이광희 ,  이정중 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마를 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크

조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포 계측(Ⅱ)

황동원 ,  하장호 ,  전용우 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07