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대한전기학회 전기학회논문지 電氣學會論文誌 第44卷 第6號
발행연도
1995.6
수록면
819 - 824 (6page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 헬리콘 리액터와 Langmuir 프로브
3. 플라즈마 모델과 프로그램
4. 계산결과와 검토
5. 결론
참고문헌
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