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장애선 (한양대학교) 박지환 (한양대학교) 김진용 (한양대학교) 김유신 (한양대학교) 정진욱 (한양대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제49회 하계정기학술대회초록집
발행연도
2015.8
수록면
142 - 142 (1page)

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2021

음이온 밀도와 부유 전위 분포 측정을 통한 산소 플라즈마 물성 연구
장애선 전기공학과 2021.01 학위논문

2015

유도 결합 플라즈마에서 웨이퍼 표면의 부유 전위 공간분포 측정
장애선 ,  박지환 ,  김진용 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

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#유도 결합 플라즈마 #웨이퍼 #부유 전위 #전하 축적

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다중 전원을 이용한 듀얼 랑뮤어 프루브 시스템을 통한 플라즈마 진단
김혁 ,  이우현 ,  황기웅 한국진공학회 학술발표회초록집 2011 .02
원통형 량뮤어 프로브에서의 플라즈마 전위와 부유 전위의 플라즈마 밀도 의존성 연구
정진욱 ,  이원기 대한전기학회 학술대회 논문집 2004 .07

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