초정밀 위치 결정 시스템

김효영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

3 자유도 초정밀 위치 결정 시스템 개발 및 평가

이재창 ,  이광일 ,  양승한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

SVM 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로크랙 분류에 관한 연구

김상연 ,  김경범

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .10

실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구

이상직 ,  정해도 ,  이은상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )

조진우 ,  김진오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 형태와 근적외선 영상패턴과의 상관관계 분석

서형준 ,  김경범 ,  김상연

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

태양전지 실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 영상 분석을 통한 조명계의 최적화

김상연 ,  김경범

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave

姜俊赫 ,  李錫垣

전기학회논문지 C

2003 .11

초미세 다공질 실리콘 구조의 열적 안정성 연구

박경호 ,  이용일

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

실리콘웨이퍼 평탄도 추정 알고리즘을 위한 디지털 컨텐츠에 관한 연구

송은지

디지털콘텐츠학회논문지

2004 .12

근적외선 검사광학계 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로 크랙 검출에 관한 연구

김경범 ,  문순환

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

실리콘 웨이퍼의 면저항 국제 비교

강전홍 ,  유광민 ,  이상화

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .11

미세진동제어를 고려한 초정밀 위치 결정 기술 개발

김철호 ,  강성복 ,  윤주성 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

실리콘 웨이퍼 직접접합에서 내인성 Bubble의 거동에 관한 연구

문도민 ,  정해도

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1999 .03

코팅된 실리콘웨이퍼의 미소 마찰마멸특성에 관한 연구 ( Investigation of Micro-tribological Properties of Coated Silicon Wafer under Light Load )

차금환 ,  김대은

Tribology and Lubricants

1999 .03

실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성 ( Flow Characteristics in a Microchannel Fabricated on a Silicon Wafer )

김형우 ,  원찬식 ,  정시영 외 1명

대한기계학회 논문집 B권

2001 .12

오존/자외선에 의한 실리콘 웨이퍼의 정밀세정에 관한 연구

박현미 ,  이창호 ,  전병준 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

산소농도 16ppma 이하 단결정 실리콘 웨이퍼의 태양전지 효율에 관한 연구

육영진 ,  이윤호 ,  남우석 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2016 .05

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05