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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
96 - 100 (5page)

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We analyze the stiffness of the precision stage for the nano-imprinting lithography equipment according to the number of the actuator axis. The precision stage should have enough stiffness to keep commanded position when the external force is induced on the stage, since the UV-nanoimprint process may induce the unbalanced force on the stage in X-Y direction. The experiments are conducted to obtain the stiffness of each axis for the 3-axis precision stage. The simulation is also executed to analyze the deformation of each axis when the external force is induced on the stage system. Based on the experiments and the simulation results on the 3-axis stage, we proposed new design criterion for the 4-axis stage that adopts the additional actuator on the fourth axis. We predict and compare the static deformation of the 4-axis stage when the same external forces as the case of 3-axis stage are induced on the 4-axis stage.
#Nano-imprinting stage(나노 임프린팅 스테이지) #3-axis stage(3축 스테이지) #4-axis stage(4축 스테이지) #CAE(컴퓨터응용공학)

목차

Abstract
1. 서론
2. 스테이지의 구동 원리
3. 하중 적용
4. 3축 스테이지 모델링
5. 4축 스테이지 시뮬레이션
6. 결론
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