메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김기현 (삼성전자) 박상현 (한양사이버대학교) 김동민 장상돈
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.3
발행연도
2010.3
수록면
50 - 57 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
A high precision air bearing stage has been developed and calibrated. This linear-motor driven stage was designed to transport a glass or wafer with the X and Y following errors in nanometer regime. To achieve this level of precision, bar type mirrors were adopted for real time ΔX and ΔY laser measurement and feedback control. With the laser wavelength variation and instability being kept minimized through strict environment control, the orthogonality of this type of control system becomes purely dependent upon the surface flatness, distortion, and assembly of the bar mirrors. Compensations for the bar mirror distortions and assembly have been performed using the self-calibration method. As a result, the orthogonality error of the stage was successfully decreased from 0.04° to 2.48 arcsec.
#Orthogonality (직각도) #Precision Stage (정밀 스테이지) #Calibration (보정) #Interferometer (인터페로미터)

목차

1. Introduction
2. Precision stage using interferometer system as a positioning sensor
3. Principle of calibration of precision stage
4. Calibration of orthogonality
5. Result
6. Conclusion
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

제진을 위한 3 자유도 정밀 스테이지의 설계와 모델링
문준희 ,  김화수 ,  박희재 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007 .03
초정밀 스테이지용 스토퍼기구의 개발
권현규 ,  박창용 한국기계가공학회지 2012 .04
마이크로/나노 핸들링을 위한 마이크로 로보틱 플랫폼 : 비전 기반 3자유도 절대위치센서 개발
이재하 ,  Jean Ma ,  c B 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2010 .01
초정밀 구동을 위한 6자유도 스테이지의 설계와 모델링
문준희 ,  박종호 ,  박희재 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009 .06
다축 힘/모멘트 센서 교정기의 개발 및 그의 불확도 평가
김갑순 ,  윤정원 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007 .10

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-555-002649486