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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험장치
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
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반응성 스트터링에서 방전특성과 TiN 박막의 물성특성의 상관 관계 연구
전기학회논문지
1993 .08
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2000 .11
불평형 마그네트론 스파터링에 의해 형성된 MgO 박막의 글로우 방전특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
R . F . 방전에 의한 I:C 박막의 제작 및 특성분석 ( The properties of I:C films prepared by r . f . discharge )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
반응성 마그네트론 스퍼터 이온 플레이팅법으로 증착된 TiN 박막의 접착력 및 마모 특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
D.C. 마그네트론 스파터링법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여
한국표면공학회지
1997 .06
용량 결합형 마그네트론 스퍼터링 장치의 방전 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향
한국표면공학회지
1996 .08
직류 마그네트론 시스템에서 방전 및 스파터링 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
RF 방전 플라즈마의 파라메타 제어에 의한 TiN 박막 특성
전기학회논문지
1997 .02
반응성 마그네트론 프로세스에 의한 ITO박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
이온 질화처리 후 증착된 TiN 박막의 내마모성 향상에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
평판형 전극계의 RF 글로우 방전특성 및 TiN 박막특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
Influence of discharge power on the properties of ZnO:Al films deposited by dc magnetron sputtering
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
DC마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 TiN박막의 밀착력과 내마모성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .10
고밀도 플라즈마 반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 TiNx 박막의 특성 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2011 .05
Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
디스플레이 확산 방지층 응용을 위한 비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 질화 티타늄 박막의 특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2019 .01
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