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이용수
1. 서론
2. 본론
3. 결과
참고문헌
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RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Si 기판상의 AlN 박막의 제조
반도체및디스플레이장비학회지
2004 .01
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 AlN 박막의 증착 특성
전기전자재료학회논문지
2012 .01
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2000 .11
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 AlN 박막의 물리적, 화학적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
마그네트론 스터퍼에 의한 Carbon Nitride 박막의 합성 및 특성에 관한 연구
전기학회논문지 P
2003 .09
RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
RF 스퍼터링을 이용한 AlN 박막의 증착특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2003 .07
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
반응성 RF마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작한 TiO₂ 박막의 광촉매 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
금속 PCB용 절연막으로 RF-Magnetron Sputtering 방법으로 제작된 AlN 후막의 특성
대한전자공학회 학술대회
2010 .06
금속 PCB용 절연막으로 RF-Magnetron Sputtering 방법으로 제작된 AlN 후막의 특성
대한전자공학회 학술대회
2010 .06
마그네트론 스퍼터링으로 코팅된 Al-Si 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
고주파 마그네트론 스퍼터링에 의한 산화몰리브덴 박막의 제작 및 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .04
마그네트론 스퍼터링으로 합성된 저밀도 탄소 박막의 미세구조 및 물리적 특성에 대한 고찰
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
마그네트론 스퍼터링에 의하여 다양한 기판 위에 증착된 CrN 박막의 핵생성과 성장거동
한국표면공학회지
2002 .02
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