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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제32권 제2호
발행연도
2019.1
수록면
129 - 133 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2019

디스플레이 확산 방지층 응용을 위한 비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 질화 티타늄 박막의 특성에 대한 연구
박용섭 전기전자재료학회논문지 2019.01 학술저널

2013

비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Ti가 도핑된 다이아몬드상 탄소박막의 트라이볼로지 특성
박용섭 ,  이수호 ,  이재형 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.08 학술대회자료
비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 TiC 박막의 트라이볼로지 특성에 미치는 기판온도 영향
박용섭 ,  서문수 ,  홍병유 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료
비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제조된 TiC 박막의 기판온도 영향
박용섭 ,  이재형 전기학회논문지 2013.02 학술저널

2012

비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치에 의한 Ti 나노금속 함량에 따른 탄소박막의 물리적, 전기적 특성
박용섭 ,  이종덕 ,  황현석 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.02 학술대회자료

2007

비대칭 마그네트론 스퍼터링법에 의한 비정질 질화탄소 박막의합성 및 윤활 특성
박용섭 ,  조형준 ,  최원석 외 1명 전기전자재료학회논문지 2007.01 학술저널

초록· 키워드

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비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 TiN 박막을 제작하고, 구조, 표면, 광학적, 트라이볼로지 특성들을 평가하였다. 비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치로 제작한 Ti 박막의 경우 경도, 탄성계수, 접착력, 표면거칠기, 투과도 값은 각각 11.5 GPa, 103 GPa, 27.5 N, 2.45 nm, 20%의 값을 나타내었다. 반응가스로써 질소를 증가시켜 제작한 TiN 박막의 경우 각각의 19.2 GPa의 경도와 182 GPa의 탄성계수 27.3 N의 접착력, 0.98 nm의 표면거칠기 값을 보이며, 85%의 높은 투과도를 나타내었으며, 30sccm 질소 가스량에서 증착되어진 TiN 박막이 가장 우수한 물리적 특성들을 나타내었다. 비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치로 제작한 TiN 박막은 우수한 경도와 탄성계수, 접착력과 부드러운 표면을 나타내었으며, 친수특성을 포함하였다.

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참고문헌 (17)

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O. Ahmed / 2017 / Colloid Surf. Sci 2:137 Crossref Mahesh R. Chavda / 2016 / Tribological Characterization of TiN Coatings Prepared by Sputtering / Procedia Technology 23:36~41 Crossref D. G. Sangiovanni / Linköping Studies in Science and Technology, Dissertation, No.1513 google schola P.J. Kelly / 2007 / Pulsed DC titanium nitride coatings for improved tribological performance and tool life / Surface and Coatings Technology 202(4-7):774~780 Crossref X.T. Zeng / 2003 / Nanometric-layered CrN/TiN thin films: mechanical strength and thermal stability / Thin Solid Films 424(1):99~102 Crossref

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