유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구

김진성 ,  방진영 ,  이효창 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

이중 주파수를 이용한 펄스 유도 결합 플라즈마 특성 연구

김기현 ,  김태형 ,  이승민 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

반도체 플라즈마 식각 시스템의 균일도 향상을 위한 CCP와 ICP 결합 임피던스정합 장치

鄭斗溶 ,  南昌佑 ,  李正鎬 외 2명

전력전자학회논문지

2010 .08

400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크

조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구

申泓旻 ,  崔景喆 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

다면적 플라즈마 공정에서 자장이 내장형 선형 유도결합 플라즈마 특성에 미치는 영향에 관한 연구

경세진 ,  이영준 ,  김경남 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

직병렬 유도결합형 안테나를 이용한 대면적 플라즈마 소스 연구

김봉주 ,  이승걸 ,  오범환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

3D ICP에서 multi-segment antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 모델링

양원균 ,  김영욱 ,  고석일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

평판형유도결합플라즈마의 임피던스특성 측정 및 수치해석

양일동 ,  이호준 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

대면적 플라즈마 공정을 위한 ferrite module을 이용한 U-type 내장형 선형 유도결합 플라즈마 소스에 관한 연구

홍승표 ,  임종혁 ,  권광호 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

유도결합 플라즈마(ICP) 스퍼터링법을 이용한 CrB₂ 박막의 제조

최효석 ,  김훈 ,  박보환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

유도 결합 플라즈마 보조 스퍼터링 장치의 기술적 발전 과제

주정훈

인포메이션 디스플레이

2011 .01

SiO₂ 식각 특성 개선을 위한 E-ICP와 ICP 식각 비교

정재성 ,  김진우 ,  라상호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering을 이용한 투명전도성 ITO 박막의 저온 증착 및 특성 연구

구범모 ,  정승재 ,  한영훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

유도 결합 플라즈마를 이용한 PVD법 의한 MgO 증착

한영훈 ,  정승재 ,  이정중 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05

ICP 알고리즘의 회전 성분 신뢰도 행렬 유도

李炳旭 ,  金哲珉 ,  朴來弘

전자공학회논문지-S

1998 .12

Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56㎒)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 E-H모드변환 특성

허인성 ,  이영환 ,  최용성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07