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다면적 플라즈마 공정에서 자장이 내장형 선형 유도결합 플라즈마 특성에 미치는 영향에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
유도 결합 플라즈마 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
450mm 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수 유도결합 플라즈마 소스의 개발 및 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
이중 주파수를 이용한 펄스 유도 결합 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
직병렬 유도결합형 안테나를 이용한 대면적 플라즈마 소스 연구
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
흑색종 세포에 대한 플라즈마와 전기장의 효과 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
디스플레이 공정 플라즈마 기초
인포메이션 디스플레이
2015 .01
저압 유도결합 플라즈마(ICP)의 연구동향
전기의세계
1994 .03
내장형 선형 안테나를 이용한 대면적 유도결합형 플라즈마 소스에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2007 .04
유도 결합 플라즈마 보조 스퍼터링 장치의 기술적 발전 과제
인포메이션 디스플레이
2011 .01
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
대면적처리를 위한 선형플라즈마 구조 제안
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56㎒)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 E-H모드변환 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
열 플라즈마 응용을 위한 전력전자 기술
전력전자학회지
2013 .06
디스플레이 공정용 메탈윈도우 유도결합플라즈마 식각장치에 대하여
인포메이션 디스플레이
2017 .01
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