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이용수
1. 서론
2. 본론
3. 결과
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유도결합 플라즈마(ICP) 스퍼터링법을 이용한 CrB₂ 박막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering을 이용한 투명전도성 ITO 박막의 저온 증착 및 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
Hard TiN Coating by Magnetron-ICP PI³D
한국표면공학회지
2001 .10
저압 유도결합 플라즈마(ICP)의 연구동향
전기의세계
1994 .03
유도결합 플라즈마-마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 저온 폴리실리콘 제조
한국표면공학회지
2004 .06
유도결합 플라즈마가 결합된 마그네트론 스퍼터링에 의해 합성된 미세결정질 실리콘 박막의 미세구조에 미치는 수소의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering에 의한 평판 디스플레이 (FPD)용 ITO 박막의 저온 증착
한국표면공학회지
2004 .06
In Line Type ICP 마그네트론 스퍼터링 장치와 E-Beam Evaporation에 의한 MgO 박막 특성 비교
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
유도결합 플라즈마 스퍼터링 장치에서 MgO의 반응성 증착 시 공정 진단
한국표면공학회지
2012 .10
ICP 스퍼터링법에 의하여 제조된 TiN 피막의 기계적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .05
ICP 스퍼터링으로 제조한 초경 TaN 박막에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
크레머-레어 바운드를 이용한 베이지안 필터 기반 지형대조항법 성능 검증
대한전자공학회 학술대회
2017 .06
DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 수퍼하드 TiN 코팅막의 물성 비교연구
한국표면공학회지
2013 .04
유도 결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Ti,Cr)N박막의 제조 및 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 CrN 코팅막의 물성 비교연구
한국표면공학회지
2012 .06
Characteristics of AZO Thin Film using RF and ICP power at Facing Magnetron Sputtering System
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
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