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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
조성원 (한양대학교 전기공학과) 방진영 (한양대학교 전기공학과) 이영광 (한양대학교 전기공학과) 정진욱 (한양대학교 전기공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
발행연도
2007.1
수록면
63 - 71 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

400 kHz 페라이트 유도 결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명 반도체및디스플레이장비학회지 2007.01 학술저널
400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
조성원 ,  방진영 ,  이영광 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2007.01 학술대회자료

초록· 키워드

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현재 반도체 산업에서 플라즈마는 다양한 공정에 적용되고 있으며, 고집적 대면적 공정을 위한 다양한 플라즈마원들이 개발 중에 있다. 이 중 ICP는 현재 고밀도 플라즈마를 요구하는 공정에서 널리 쓰이고 있는 플라즈마원이다. 그러나 ICP는 안테나와 플라즈마 사이의 결합이 낮아 안테나의 전압과 전류가 높으며, 대면적에 적용하기 어려운 디자인 등의 여러 가지 문제점 들을 가지고 있는데, 이러한 ICP의 문제를 해결하기 위한 방법으로 강자성체를 ICP에 응용하는 플라즈마원이 연구되어 왔고 일부 장치에 쓰이고 있다. 이것은 ICP의 많은 문제들을 해결하면서도 여러 가지 장점을 가지는 것으로 평가되고 있다. 강자성체를 이용한 ICP는 플라즈마와 안테나의 결합계수가 1에 가깝기 때문에 강자성체 ICP에서는 간편한 변압기 임피던스 매칭이 적용 가능하다. 이 논문에서는 릴레이를 이용하여 변압기의 권선수를 제어하는 방식을 통해 새로운 임피던스 매칭이 제안되었다. 간단한 매칭 시스템을 구현하여 권선비가 바뀌었을 때 특성을 분석하였다. 2-채널 릴레이를 사용할 때 임피던스 매칭이 가능하였고, 디지털 회로와 마이크로콘트롤러를 사용하여 디지털 임피던스 매칭 시스템을 구현하였다.

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