TiN / TiSi2 이중구조막의 submicron contact에서의 전기적 특성 ( The electrical properties of TiN / TiSi2 bilayer formed by rapid thermal anneal at Submicron contact )

이철진; 성만영; 성영권

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이철진 성만영 성영권

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제17권 1호

발행연도: 1994.7

수록면: 439 - 441 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (10)

1995

Al/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(2)

이철진 , 엄문종 , 라용춘 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 1995.07 학술대회자료

AI/TiN/Ti 전극의 Submicron contact에서의 전기적특성(1)

이철진 , 엄문종 , 라용춘 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 1995.07 학술대회자료

1994

급속열처리에 의한 TiN / TiSi2 이중구조막을 이용한 submicron contact 에서의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of TiN / TiSi2 Bilayer Formed by Rapid Thermal Anneal at Submicron Contact )

이철진 , 성만영 , 성영권 전자공학회논문지-A 1994.09 학술저널

TiN/TiSi₂ 이중구조막의 submicron contact에서의 전기적 특성

이철진 , 성만영 , 성영권 대한전자공학회 학술대회 1994.07 학술대회자료

TiN / TiSi２ 이중구조막의 submicron contact에서의 전기적 특성 ( The electrical properties of TiN / TiSi２ bilayer formed by rapid thermal anneal at Submicron contact )

이철진 , 성만영 , 성영권 대한전자공학회 학술대회 1994.07 학술대회자료

1992

$NH_3$ 분위기에서의 RTA에 의한 TiN/$TiSi_2$ 경합반응에 관한 고찰

이철진 , 박지순 , 성영권 한국재료학회 학술발표대회 1992.01 학술대회자료

이단계 순간열처리에 위한 TiN / TiSiz 이중막의 특성 ( Properties of TiN / TiSi2 By layer by Two Step Rapid Thermel Anneal )

이철진 , 성영권 대한전자공학회 학술대회 1992.01 학술대회자료

1991

Rapid Thermal Anneal 에 의한 TiN / TiSi2 구조 형성에 관한 연구 ( Ⅰ ) ( Characterization of TiN / TiSi2 Structure Formation by a Rapid Thermal Anneal ( Ⅰ ) )

이철진 , 천영일 , 박종호 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1991.07 학술대회자료

RAPID THERMAL ANNEAL에 의한 TiN / TiSi₂구조 형성에 관한 연구(Ⅰ)

이철진 , 천영일 , 박종호 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1991.06 학술대회자료

1990

RTA에 의한 BPSG막의 REFLOW특성 ( A Study on the Reflow Characteristics of BPSG Film by Rapid Thermal Anneal )

이철진 , 성영권 , 안용철 외 1명 대한전자공학회 학술대회 1990.01 학술대회자료

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주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 24 이용수 620

성영권

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논문수 223 이용수 5,686

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