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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Modeling
3. Results and Discussions
4. Conclusion
Acknowledgements
References
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Latest Trend in Capacitively Coupled Discharges in Plasma Processing
한국표면공학회 Workshop
2004 .11
SF6/O₂ 플라즈마를 이용한 구리 표면 처리 후 표면 Corrosion 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
X-Rays From Laser-Produced Plasmas
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
비대칭 전극계에서의 1차원적 RF 플라즈마 모델링에 관한 연구
조명·전기설비학회논문지
2004 .09
나노패턴을 위한 CF₄/C₄F8/Ar 유도결합 플라즈마에서의 Si 및 SiO₂ 식각 메커니즘 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
Three Dimensional Integration of Micro Solution Plasmas for Plasma Electrochemical Material Processing
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Characteristics of Ultra Water-repellent Films Prepared by Capacitively-coupled Plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
이중 주파수 전원의 용량성 결합 플라즈마 식각장비에서 전극하전에 의한 입사이온 에너지분포 변화연구
반도체디스플레이기술학회지
2014 .01
Numerical investigation of rf pulsing effect on ion energy distributions in capacitively coupled plasma sources
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
저 유전 재료의 에칭 공정을 위한 H₂/N₂ 가스를 이용한 Capacitively Coupled Plasma 시뮬레이션
전기학회논문지 C
2006 .12
Signal Transient and Crosstalk Model of Capacitively and Inductively Coupled VLSI Interconnect Lines
대한전자공학회 ISOCC
2007 .10
20 kHz 전력설비 접지시스템 분석에 관한 연구
전기학회논문지
2013 .09
현장시험에 의한 접지전극의 년간 변화 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
용량성으로 결합된 마이크로스트립 공진기 설계에 관한 연구 ( A study on the design of the capacitively coupled microstrip resonator )
한국통신학회논문지
2000 .02
분포정수회로모델을 이용한 수직 접지전극의 접지임피던스의 분석
전기학회논문지
2010 .06
대면적 초고주파 축전결합형 전극에서 가이드링이 전기장에 미치는 영향
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .10
배전계통에 사용되는 접지전극 재료별 초기 공사비의 경제성 비교
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .07
Capacitively Coupled Hybrid Ion Gel and Carbon Nanotube Thin-Film Transistors for Low Voltage Flexible Logic Circuits
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
시뮬레이션에 의한 저압 지중함의 안전성 평가 Ⅰ
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2006 .11
Simulation of Capacitively Coupled RF Plasma; Effect of Secondary Electron Emission - Formation of Electron Shock Wave
반도체및디스플레이장비학회지
2009 .01
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