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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.9
- 수록면
- 35 - 41 (7page)
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본 연구에서 사용된 방전 기체는 오염물의 제거 및 박막 표면 정제 등의 연구 분야에 응용되고 있는 질소 가스를 사용하였으며, 1차원 동심구 모델의 개발로 인하여, 접지 면적을 넓게 함에 따라 경방향으로의 플라즈마 분포가 중심축의 분포와 동일하다는 1차원적 가정이 적절하지 못하다는 Barnes 모델을 보완할 수 있었다. 일정한 인가 전압하에서는 입체각(ω)의 증가에 따라 질소 플라즈마를 구성하는 각 입자의 수밀도 분포, 전계 및 포텐셜이 감소함을 볼 수 있었다. 그러나 면적비가 증가하면서 구동 전극에서의 각 입자들의 움직임은 상대적으로 높은 전계로부터 더욱 활발하게 형성됨에 따라 직렬 연결된 블로킹 콘덴서에서 발생하는 자기 바이어스 전압은 증가하는 것을 알 수 있었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 모델링
3. 시뮬레이션 결과 및 고찰
4. 결론
References
◇ 저자소개 ◇
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[학술지(정기간행물)] - / 1999 / A Study on the Characteristics of the Radio-Frequency Induction Discharge Plasma 13 (3) : 34 ~ 39
[학술지(정기간행물)] - / 1999 / A Measurements on the Characteristics of Electron Energy Distribution Function of Radio-Frequency Inductively Couples Plasma 13 (4) : 82 ~ 86
[학술지(정기간행물)] - / 1997 / Step responses of radion-frequency capacitively coupled discharges 82 (5) : 2093 ~ 2105
[학술지(정기간행물)] - / 1995 / Two-dimensional model of a capacitively coupled rf discharge and comparisons with experiments in the Gaseous Electronics Conference reference reactor 51 (2) : 1376 ~ 1390
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Modeling of a capacitively coupled radio-frequency methane plasma: Comparison between a one-dimensional and a two-dimensional fluid model 92 (5) : 2290 ~ 2295
[학술지(정기간행물)] - / 1999 / A Measurements on the Characteristics of Electron Energy Distribution Function of Radio-Frequency Inductively Couples Plasma 13 (4) : 82 ~ 86
[학술지(정기간행물)] - / 1997 / Step responses of radion-frequency capacitively coupled discharges 82 (5) : 2093 ~ 2105
[학술지(정기간행물)] - / 1995 / Two-dimensional model of a capacitively coupled rf discharge and comparisons with experiments in the Gaseous Electronics Conference reference reactor 51 (2) : 1376 ~ 1390
[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Modeling of a capacitively coupled radio-frequency methane plasma: Comparison between a one-dimensional and a two-dimensional fluid model 92 (5) : 2290 ~ 2295
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