건식식각장치에서 임피던스 측정과 비등방성 식각에 대한 연구

김종식 ,  김흥락 ,  강봉구 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작 ( Fabrication of Micromechanic Structures for Integrated Sensor Using Anisotropic Etching of Si )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )

김진형 ,  김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Fabrication of Carbon Nanotube Field Emitters

Hyeun Joong Yoon ,  Dae Jung Jeong ,  Do Han Jun 외 1명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2008 .03

실리콘의 비등방성 식각 상태의 고찰과 집적 센서용 미세 기계 구조 제작에의 응용

朱炳權 ,  李允熙 ,  金炯坤 외 1명

전기학회논문지

1990 .01

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Field Emitter Array 의 3 차원 시뮬레이션 ( 3 - Dimensional Simulation of Field Emitter Array )

정재훈 ,  김영훈 ,  이병호 외 1명

전자공학회논문지-D

1997 .04

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Fabrication and Characteristics of Lateral Type Field Emitter Arrays

Jae-Hoon Lee ,  Ki-Rock Kwon ,  Myoung-Bok Lee 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2002 .06

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

MRF 공정을 이용한 집적형 광 픽업용 대면적 실리콘 미러면 제작

박성준 ,  이성준 ,  최석문 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

고효율 상업용 실리콘 태양전지 구현을 위한 고면저항 Emitter 특성 분석

조수정 ,  이현우 ,  조경연 외 7명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .11

실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

Selective emitter를 이용한 태양전지 효율 향상

홍근기 ,  조경연 ,  서재근 외 9명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2011 .11

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

마이크로-광스위치 제작을 위한 다결정실리콘 식각 공정의 최적화

조수범 ,  이경철 ,  이민우 외 6명

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

다이오드형 실리콘 전계방출소자의 제작 및 특성평가

박홍우 ,  주병권 ,  김성진 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07