실리콘 마이크로머시닝을 위한 자기 정렬 특성을 갖는 새로운 실리콘 식각방법과 식각특성분석

李熙德 ,  金載官 ,  鄭訓周 외 1명

전기학회논문지

1996 .10

용융접합 및 2 단계 전기화학적 식각정지를 이용한 실리콘 막의 제조

주병권 ,  김형곤 ,  오명환 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

An Accelerometer with Polysilicon Piezoresistors Bulk-Micromachined Using a p+ Silicon Etch-Stop Layer

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1996 .10

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07

높은 종횡비를 갖는 구조물의 제작을 위한 ( 110 ) Silicon 이방성 습식 식각에 관한 연구 ( Anisotropic Bulk Etching of ( 110 ) silicon for Fabrication of Micro Structure with High Aspect Ratios )

김성혁 ,  이상훈 ,  임형택 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

무전해 니켈 도금과 실리콘의 이방성 식각을 이용한 미세 가동 구조물의 제작 방법에 관한 연구

金聲赫 ,  金容權 ,  李宰鎬 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .06

실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작 ( Fabrication of Micromechanic Structures for Integrated Sensor Using Anisotropic Etching of Si )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

DRIE 식각을 이용한 대면적 실리콘 미세 구조물 부유 시 발생하는 열고립 현상 해석

이용석 ,  장윤호 ,  김정무 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

새로운 박막제조 기법을 이용한 초소형 밸브 제작 및 특성분석 ( A Study on Micro Valve Using Novel Diaphgram Fabrication Technique for Silicon )

권영신 ,  조동일

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Cl/HBr/O 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성

이원규

화학공학

2009 .01

붕소가 도핑된 실리콘 박막의 잔류응력으로 인한 변형에 관한 실험적 연구

양의혁 ,  양상식 ,  지영훈

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

스핀온 쏘스에 의한 실리콘내의 붕소의 이단계 확산 ( Two-Step Diffusion of Boron into Silicon by Spin-on Source )

정태원

전자공학회지

1980 .10

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구 ( A Study on Anisotropic Etching of Silicon Suitable for IC Process )

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )

조찬섭 ,  심준환 ,  이종현

전자공학회논문지-A

1994 .11