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무전해 니켈 도금과 실리콘의 이방성 식각을 이용한 미세 가동 구조물의 제작 방법에 관한 연구
A Study of Micro Freestanding Structure Fabrication using Nickel Electroless Plating and Silicon Anisotropic Etching
이용수
무전해 니켈 도금과 실리콘의 이방성 식각을 이용한 미세 가동 구조물의 제작 방법에 관한 연구
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목차
Abstract
1. 서론
2. 연구 배경
3. 제작 공정
4. 실험 결과
5. 니켈 머리빗 모양 구조물의 제작
6. 결론
감사의 글
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