유리렌즈 성형용 초경합금의 Pt 박막의 특성에 관한 연구

박순섭; 이기용; 원종호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박순섭 (한국생산기술연구원) 이기용 원종호

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제8권 제3호

발행연도: 2009.9

수록면: 62 - 67 (6page)

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Pt thin films on Cr or Ti interlayer were deposited onto a tungsten carbide(WC) substrate by the ion beam assisted DC magnetron sputtering. The various atomic percent of Cr and Ti underneath of the Pt films were prepared to examine the total thin film characteristics. The microstructure and surface analysis of the specimen were conducted by using the SEM, XRD and AFM. Mechanical properties such as hardness and adhesion strength of Pt thin film also were examined. The interlayer of pure Ti was formed with 40 nm thickness while that of pure Cr was done with 50 nm as standard reference. The growth rate of either Cr or Ti thin film was almost same under the same deposition conditions. The SEM images showed that anisotropic grain of Pt thin films consisting of dense columnar structures irrespectively grew from the different target compositions. The values of hardness and adhesion strength of Cr/Pt thin film coated on a WC substrate were higher than those of Ti/Pt thin film.

#Pt(백금) #Ion beam assisted DC magnetron sputtering #Glass lens Molding core(유리렌즈 성형용코어) #Tungsten carbide(초경합금) #Ultra-Precision (초정밀)

참고문헌 (9)

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1. [학술지(정기간행물)] - H. Suzuki / 1998 / Study on precision grinding of micro aspherical surface / J. JSPE 62 (4) : 619 ~ 623

2. [학술지(정기간행물)] - 김상석 / 2006 / 레이저 빔 프린터용 F-theta Lens 개발 / 전기전자재료학회논문지 19 (4) : 386 ~ 390

3. [학술지(정기간행물)] - M. J. Chen / 2002 / Research on a large depth-to-diameter ratio ultra-precision aspheric grinding system / Journal of Materials Processing Technology 129 : 91 ~ 95

4. [학술지(정기간행물)] - 김현욱 / 2006 / 비구면 Glass 렌즈 성형용 초경합금(WC) 코어의 DLC 코팅 효과 / 전기전자재료학회논문지 19 (11) : 1050 ~ 1054

5. [학술지(정기간행물)] - H. U. Kim / 2007 / Optical Properties of Aspheric Glass Lens Using DLC Coating Mold / Key Engineering Materials 345 : 1577 ~ 1580

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