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Pt-doped zinc oxide (ZnO:Pt) films were deposited by ultrasonic spray pyrolysis. Resistivity variation with Pt
concentration was measured. The Pt distribution in ZnO:Pt films was studied through Auger Electron Spectroscopy (AES).
The ZnO:Pt films were annealed in the ambient of air, water vapor and ozone, respectively. The variation in
crystallographic properties and surface morphologies with respect to the annealing condition was observed by X-Ray
Diffraction (XRD) and Scanning Electron Microscopy (SEM). The resistivity variation of the films with the annealing
condition was measured. Finally, Atomic Force Microscopy (AFM) measurements were carried out to study the effects
of the annealing on the roughness of ZnO:Pt films.
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/ 1897 / High speed fabrication of high-quality sputtered ZnO thin-films for bulk and surface wave applications : 110 ~ 112
/ 1997. / Room temperature hydrogen sensors based on ZnO 47 : 93 ~ 96
/ 1997. / Structural, electrical and optical properties of aluminum doped zinc oxide films prepared by radio frequency magnetron sputtering 81 : 7764 ~
/ 2000. / Effects of aluminum content and substrate temperature on the structural and electrical properties of aluminumdoped ZnO films prepared by ultrasonic spray pyrolysis
/ 2000. / Sensing characteristics of ZnO-based NOx sensor b 66 : 119 ~ 121
/ 1997. / Room temperature hydrogen sensors based on ZnO 47 : 93 ~ 96
/ 1997. / Structural, electrical and optical properties of aluminum doped zinc oxide films prepared by radio frequency magnetron sputtering 81 : 7764 ~
/ 2000. / Effects of aluminum content and substrate temperature on the structural and electrical properties of aluminumdoped ZnO films prepared by ultrasonic spray pyrolysis
/ 2000. / Sensing characteristics of ZnO-based NOx sensor b 66 : 119 ~ 121
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