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자료유형
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저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제16권 제2호
발행연도
2007.1
수록면
159 - 164 (6page)

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Thin films of platinum were deposited on a Al2O3/ONO(SiO2-Si3N4-SiO2)/Si-substrate with an 2-inch Pt(99.99 %) targetat room temperature for 20, 30 and 60 min by DC magnetron sputering, respectively X-ray difract meter (XRD) wasemployed for the investigation on crystal growth. The densification and the grain growth of the sputtered films have aconsiderable effect on sputtering time and annealing temperatures. The resistance of the Pt thin films was decreased withincreasing deposition time and sintering temperature. Pt micro heater thin film deposited for 60 min by DC magnetronsputtering on an Al2O3/ONO-Si substrate and annealed at 600oC for 1 h in air is found to be a most suitable micro heaterwith a generation capacity of 350oC temperature and 645 mW power at 5.0 V input voltage. Adherence of Pt thin filmand Al2O3 substrate was also found excelent. This characteristic is in good agreement with the uniform densification andand the results will be presented as soon as possible.
#Pt thin film #DC magnetron sputter #resistance #thermal characteristic

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참고문헌 (10)

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/ 1990. / “A substrate for thin-film gas sensors in microelectronic technology” 2 pp. 63-70 google schola / 1994. / “Basic micro module for chemical with on chip heater and buried sensor structure” 57-pa6 : 139 ~ 143 google schola / 1994. / “Tin oxide microsensor for LPG monitoring” 20 : 139 ~ 143 google schola / 1995. / “A microsensor with integrated heat sink and flow guide for gas sensing application” 130-C2 : 520 ~ 523 google schola / 1995. / “Applications of thermal silicon sensors on membranes” 49 : 1 ~ 9 google schola

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