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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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마그네트론 스터퍼에 의한 Carbon Nitride 박막의 합성 및 특성에 관한 연구
전기학회논문지 P
2003 .09
RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .10
마그네트론 스퍼터링으로 합성된 저밀도 탄소 박막의 미세구조 및 물리적 특성에 대한 고찰
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
비대칭 마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 AISI304박막의 내부식특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
ARE법에 의한 Cubic Boron Nitride박막의 합성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .05
Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
The synthesis of teflon thin film deposited by rf magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2011 .11
스퍼터링법에 의한 Cu막 형성 기술
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 박막의 제조
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 오스테나이트 스테인리스강 박막에서의 질소와 산소 첨가 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .05
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 탄화붕소 박막의제조
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
Study on the properties of Cr1-xZrxN films synthesized by closed field unbalanced magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
TEM에 의한 Boron Nitride박막의 결정구조 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .10
스퍼터링에 의한 고밀도 Al 박막 코팅과 특성 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
UBM 스퍼터링법을 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 합성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
SPUTTER-DEPOSITION OF CARBON NITRIDE FILMS WITH HIGH NITROGEN CONCENTRATION
한국표면공학회지
1996 .10
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