Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering

Min J. Jung; Kyung H. Nam; Jeon G. Han

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Min J. Jung Kyung H. Nam Jeon G. Han

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2001년도 춘계 학술발표회 초록집

발행연도: 2001.6

수록면: 14 - 14 (1page)

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2003

Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering

Min J. Jung , Yong M. Kim , Yun M. Chung 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003.05 학술대회자료

2002

Ti thin film deposited by grid - assisted magnetron sputtering

Min J. Jung , Kyung H. Nam , Jeon G. Han 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.06 학술대회자료

Physical properties of TiN thin films deposited by grid-assisted magnetron sputtering

Min J. Jung , Kyung H. Nam , Jeon G. Han 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2002.05 학술대회자료

2001

Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering

Min J. Jung , Kyung H. Nam , Jeon G. Han 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2001.06 학술대회자료

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