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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
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수정된 직접 접합 방법을 이용한 유리-실리콘 기판의 저온 접합에 관한 연구
전기학회논문지
1997 .03
플라즈마를 이용한 물 분해 및 수소 제조
한국에너지학회 학술발표회
2003 .11
친수성 표면의 자가정렬 효과와 플라즈마를 이용한 MCP 용 저온 실리콘 Oxide 접합 방법
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
실리콘-유리 정전 열 접합에 있어서 상온 예비 접합에 의한 접합 특성의 개선
전기학회논문지
1998 .08
플라즈마 실리콘 질화막의 전기적 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
1989 .12
유리 ∥실리콘 기판 직접 접합에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .05
표면처리 공정 조건에 따른 SoQ 접합의 접합 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .07
전자선 증착된 실리콘 산화막층을 이용한 직접 접합에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 Bubble형 결함에 관한 연구
제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집
1998 .12
Status of Hydrogen Energy Technology and Infrastructures in Korea
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2016 .05
실리콘 직접 접합에 있어서 KOH-식각된 접합계면의 모양과 계면산화막의 상태간의 관계 ( Relationship between the Shape of KOH-etched Bonding Interface and the Interfacial Oxide Condition in Silicon Direct Bonding )
대한전자공학회 학술대회
1994 .07
플라즈마 처리에 따른 비정질 실리콘 박막의 결정화 거동과 측면 유도 결정화에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
플라즈마를 이용한 투명 유연 재료의 직접 접합 특성
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2013 .11
수소 희석비에 따른 실리콘 이종접합 계면에 대한 분석 및 태양전지로의 응용
전기전자재료학회논문지
2012 .01
초음파 접합 장치의 냉각관 설계 및 접합강도 실험
한국산학기술학회 논문지
2014 .04
미세공정을 이용한 p+ 실리콘 전극 제작 및 플라즈마 실험
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
플라즈마 폐기물 처리 기초기술 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
Arc Plasma를 응용한 수소제조 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
실리콘 기판 접합기술과 기판양면 공정기술의 응용 가능성 - DRAM Cell에의 적용을 중심으로 ( Applicabilities of Silicon Direct Bonding and Double Side Process Technology )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
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