전자선 증착된 Corning #7740 Interlayer를 이용한 실리콘-실리콘 정전 열 접합

朱炳權 ,  崔祐範 ,  李允熙 외 4명

전기학회논문지

1997 .10

수정된 직접 접합 방법을 이용한 유리-실리콘 기판의 저온 접합에 관한 연구

朱炳權 ,  高彰基 ,  李允熙 외 6명

전기학회논문지

1997 .03

수소 플라즈마 처리에 의한 실리콘 직접 접합 특성에 관한 연구

崔祐範 ,  朱哲民 ,  金東南 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .07

비정질 실리콘을 이용한 직접 접합에 관한 연구

김봉환 ,  정택동 ,  이용재 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

실리콘-유리 정전 열 접합에 있어서 상온 예비 접합에 의한 접합 특성의 개선

朱炳權 ,  李德重 ,  李允熙 외 4명

전기학회논문지

1998 .08

실리콘 직접 접합에 있어서 KOH-식각된 접합계면의 모양과 계면산화막의 상태간의 관계 ( Relationship between the Shape of KOH-etched Bonding Interface and the Interfacial Oxide Condition in Silicon Direct Bonding )

주병권 ,  차균현 ,  오명환

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 ( An Experimental Study on the Oxidation Process of Silicon )

최연익 ,  김충기

전자공학회지

1979 .03

유리 ∥실리콘 기판 직접 접합에 대한 연구

민홍석 ,  주영창 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .05

Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics

Ka-Hyun Kim

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2015 .06

실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 Bubble형 결함에 관한 연구

문도민 ,  정해도

제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집

1998 .12

원자층 증착 방법으로 증착된 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  이연승 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Relationship between the Shape of KOH-etched Bounding Interface and the Interfacial Oxide Condition in Silicon Direct Bonding

B.K.Ju ,  K.H.Tchah ,  M.H.Oh

대한전자공학회 학술대회

1994 .07

실리콘 산화막을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막트랜지스터 제작 ( Fabrication on Amorphous Silicon Thin Film Transistors Using the SiO2 Film )

이경하 ,  전정목 ,  이태진 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .05

실리콘 박막의 제조와 특성 평가

김준수

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .11

실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰

최연익 ,  길충기

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1978 .01

실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰

최연익 ,  길충기

대한전자공학회 학술대회

1978 .01

실리콘 산화막의 두께에 따른 ALD Al₂O₃ 박막의 passivation 효과

김영도 ,  박성은 ,  탁성주 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

초음파 접합 장치의 냉각관 설계 및 접합강도 실험

이동욱 ,  전의식

한국산학기술학회 논문지

2014 .04