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김종완 (서울대학교) 송은석 (서울대학교) 김용권 (서울대학교) 백창욱 (중앙대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,501 - 1,502 (2page)

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Plasma treatment time was optimized to maximize the bonding strength between silicon and quartz. Bonding strength between the silicon and quartz is related to a surface energy which can be calculated by contact angle measurement. It was found that optimized time to get maximized surface energy was 15 sec. Silicon and quartz wafers were t ... 전체 초록 보기

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