고진공 환경용 공기베어링이 적용된 직선, 회전스테이지의 구동에 의한 압력증가 특성분석

김경호; 박천홍

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김경호 (한국기계연구원) 박천홍 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.8

발행연도: 2009.8

수록면: 112 - 118 (7page)

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2009

공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 미소구동특성 평가

김경호 , 박천홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료

고진공 환경용 공기베어링이 적용된 직선, 회전스테이지의 구동에 의한 압력증가 특성분석

김경호 , 박천홍 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.08 학술저널

2008

전자빔 마스터링을 위한 공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 설계 및 진공특성 평가

김경호 , 송창규 , 박천홍 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.12 학술저널

공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 진공특성 평가

김경호 , 송창규 , 박천홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

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A pressure rise is generated while air bearing stages are moving in high vacuum environment. This study analyzed this pressure rise phenomenon theoretically and verified it experimentally using two different kinds of stages - linear and rotary air bearing stages. Results indicate that the pressure rise was caused by additional leakage resulting from stage velocity, along with adsorption and outgassing of gas molecules from the guide rail surface. Though tilting of the stage due to acceleration and deceleration reached several micrometers, it had a negligible effect on pressure rise because the tilting time was very short. Therefore, a rotary air bearing stage showed much less pressure rise than a linear stage because the rotary stage theoretically has nothing to do with the above causes. Additional leakage caused by stage velocity was inevitable if the stage had movements, but pressure rise caused by adsorption and outgassing could be suppressed by improving the surface quality to reduce real surface area, and by coating the guide rail surface with titanium nitride (TiN) which has less adhesion probability of gas molecules. The results also indicate that the pressure rise increased when the air bearing stage operated under high vacuum conditions.

#Air Bearings(공기베어링) #Vacuum(진공) #Pressure Rise(압력증가) #Linear Stage(직선스테이지) #Rotary Stage(회전스테이지) #Outgassing(기체방출)

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김경호

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C. H. Park

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