고진공 5 축 시스템용 스테이지 동적 해석

홍서준; 정재일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 홍서준 (국민대학교) 정재일 (국민대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2018.5

수록면: 884 - 884 (1page)

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