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학술대회자료
저자정보
김경호 (한국기계연구원) 박천홍 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
583 - 584 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2009

공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 미소구동특성 평가
김경호 ,  박천홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2009.10 학술대회자료
고진공 환경용 공기베어링이 적용된 직선, 회전스테이지의 구동에 의한 압력증가 특성분석
김경호 ,  박천홍 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.08 학술저널

2008

전자빔 마스터링을 위한 공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 설계 및 진공특성 평가
김경호 ,  송창규 ,  박천홍 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2008.12 학술저널
공기베어링 응용 고진공 회전테이블의 진공특성 평가
김경호 ,  송창규 ,  박천홍 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

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#Rotation table #Vacuum #Air bearing #Ultra-precise motion #Repeatability

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