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부하를 고려한 공기베어링 스테이지의 정밀도 특성평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
설계단계에서 공기정압베어링 회전테이블의 반경방향 회전정밀도 예측에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
5자유도 능동보정형 공기베어링 스테이지 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2012 .04
5 자유도 오차 측정 시스템이 내장된 에어베어링 스테이지 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
운동오차 능동보정형 자기예압 공기베어링 스테이지 특성 해석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .04
저속 회전 스테이지의 5자유도 회전축 오차 분석에 관한 연구
반도체및디스플레이장비학회지
2007 .01
전달함수를 이용한 다공질 공기베어링 스테이지의 운동오차해석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .07
공기 베어링 스테이지 기동 및 정지에 따른 동특성 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .10
공기베어링을 사용한 선형 스테이지 구조물의 강성 및 감쇠 식별
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
5자유도 능동보정형 공기베어링 스테이지의 운동오차 측정 및 보정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
자기예압 공기베어링 스테이지의 3 자유도 운동오차 측정 및 능동 보정
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .02
공기정압 저널 베어링의 설계인자와 회전정밀도의 관계에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
5자유도 능동 자기예압 공기베어링 스테이지의 보정 특성 측정에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2013 .04
부하에 따른 공기정압베어링 스핀들의 회전정밀도 실험 및 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .10
멀티 와이어 쏘 스윙부 등가 강성 모델링 및 진동 해석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2018 .04
초정밀 이송 스테이지용 수정압 베어링 모세관 설계에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2009 .10
PZT로 구동되는 회전 스테이지의 오차 운동 분석에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .05
공기 스테이지의 형상 오차가 운동정밀도에 미치는 영향
Tribology and Lubricants
2020 .04
하중 변동에 의한 공기 베어링 스테이지의 변위 보정 시스템 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
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