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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
1 - 4 (4page)

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A vacuum environment is very important for NGL(Next Generation Lithography) apparatuses such as EUVL(Extreme Ultra Violet Lithography) or EPL(Electron Projection Lithography) and so on. The performance of these systems is dominated by vacuum level of processing and positioning accuracy of a stage. So, ultra-precision stage usable in a high vacuum level is needed for the improved performance of these devices. In contrast to atmospheric condition, a special attention must be paid to guide bearing, actuator and other elements. In this paper, air bearing is adopted because of its very high motional accuracy. So, air bearing is designed to be vacuum compatible using differential exhaust method, which prevents air from entering into vacuum chamber. For this, leakage analysis is performed theoretically and verified from experiment.
#Vacuum Environment(진공환경) #Air Bearing(공기 베어링) #Leakage Analysis(누설량 해석) #Vacuum Pressure(진공압력) #Ultra-Precision Stage(초정밀 스테이지)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. Leakage 해석
3. 이론적 분석
4. 실험결과
5. 결론
참고문헌

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