메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제42권 제1호
발행연도
2009.2
수록면
21 - 25 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Using an evaporation system, SiO₂ was deposited as a buffer layer between a PET substrate and a ITO layer and then ITO/SiO₂/PET layers were annealed for 1.5 hours at the temperature of 180℃. Adhesion and electro-optical properties of ITO films were studied with thickness variance of a SiO₂ buffer layer. As a result of introduction of the SiO₂ buffer layer, sheet resistance and resistivity increased and a ITO film with optimum sheet resistance ( 529.3 Ω/square) for an upper ITO film of resistive type touch panel could be obtained when SiO₂ of 50 A was deposited. And it was found that ITO films with SiO₂ buffer layer have higher transmittance of 88~90% at 550 ㎚ wavelength than ITO films with no buffer layers and the transmittance was enhanced as SiO₂ thickness increased from 50 A to 100 A. Adhesion property of ITO films with SiO₂ buffer layers became better than ITO films with no buffer layers and this property was independent of SiO₂ thickness variance (50~100 A). By depositing a SiO₂ buffer layer of 50 A on the PET substrate and sputtering a ITO thin film on the layer, a ITO film with enhanced adhesion, electro-optical properties could be obtained.
#ITO(Indium-Tin-Oxide) #PET #SiO₂ buffer layer #Adhesion #Touch screen

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 송우창 / 2004 / PET 기판 위에 증착된 ITO 투명전도막의 전기적·광학적 특성 / 전기전자재료학회논문지 17 (12) : 1277 ~ 1282 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - B. S. Chiou / 1994 / / J. Am. Ceram. Soc. 77 : 1740 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - A. K. Kulkarni / 1997 / / Thin Solid Film 270 : 1 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - T. Minami / 1995 / / Thin Solid Film 270 : 37 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - W. F. Wu / 1997 / / Thin Solid Film : 221 ~ google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

산소 유량에 따라 증착된 ITO (Indium Tin Oxide)의 전기적 특성 분석
김동해 ,  손찬희 ,  윤명수 외 10명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012 .02
R.F Sputtering 법으로 증착한 ITO 박막의 미세구조와 전기ㆍ광학적 특성
전영희 ,  이은수 ,  B. Muni 외 2명 한국표면공학회지 2005 .08
ITO/Ni/ITO 박막의 광학적 전기적 특성 연구
김소라 ,  서정은 ,  김상호 외 2명 한국표면공학회지 2005 .04
SiO₂ 버퍼층을 갖는 PET 기판위에 증착한 IZTO 박막의 전기적 및 광학적 특성
박종찬 ,  정양희 ,  강성준 한국정보통신학회논문지 2017 .03
ITO/PET 박막의 물성에 영향을 미치는 스퍼터링 전압 - 전류 영향
박소윤 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0