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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
전성용 (목포대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제44권 제5호
발행연도
2011.10
수록면
179 - 184 (6page)

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This work investigated the effect of duty cycle and pulse frequency on the microstructures and properties of titanium nitride thin films deposited by asymmetric bipolar pulsed DC sputtering system. Oscilloscope traces of the I-V waveforms indicate high power and high current density outputs during the asymmetric bipolar pulsed mode. The grain size decreases with decreasing duty cycle. The duty cycle has a strong influence not only on the microstructural properties but also on the mechanical properties of titanium nitride films. Comparing with the continuous DC sputtering, the titanium nitride films prepared by pulsed DC asymmetric bipolar process exhibit better properties.
#Duty cycle #Pulse frequency #Asymmetric bipolar #Pulsed sputtering

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (17)

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F. Vaz / 2005 / Surf. Coat. Tech. 191:317 google schola A. Kagiyama / 2003 / Surf. Coat. Tech. 397:169 google schola J. W. Uhm / 2001 / Jpn. J. Appl. Phys. 40:4657 google schola W. D. Sproul / 1986 / Phys. Chem. Protective Coat. :50 google schola N. Y. Kim / 2000 / Surf. Coat. Tech. 156(160):128 google schola

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