지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (13)
2017
2016
2014
2012
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
Process analysis was carried out during deposition of MgO by inductively coupled plasma assisted reactive magnetron sputtering in Ar and O₂ ambient. At the initiation of Mg sputtering with bipolar pulsed dc power in Ar ambient, total pressure showed sharp increase and then slow fall. To analyse partial pressure change, QMS was used in downstream region, where the total pressure was maintained as low as 10<SUP>?5</SUP> Torr during plasma processing, good for ion source and quadrupole operation. At base pressure, the major impurity was H₂O and the second major impurity was CO/N₂ about 10%. During sputtering of Mg in Ar, H₂ soared up to 10.7% of Ar and remained as the major impurity during all the later process time. When O₂ was mixed with Ar, the partial pressure of Ar decreased in proportion to O₂ flow rate and that of H₂ dropped down to 2%. It was understood as Mg target surface was oxidized to stop H2 emission by Ar ion sputtering. With ICP turned on, the major impurity H2 was converted into H₂O consuming O₂and C was also oxidized to evolve CO and CO₂.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (3)
참고문헌 신청
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
교육청의 장애인 고용률 제고 방안 : 장애인 교원을 중심으로
심진예
,
곽정란
,
남용현
외 1명
기본과제보고서
2015
.12
나홀로족 전성시대
오수연
마케팅
2016
.08
부정적인 이문화 고객 간 상호작용이 고객 태도에 미치는 영향 : 고객의 인지된 문화적 거리감과 종업원의 문화 간 역량의 조절 효과
이은정
,
장만영
,
이태경
외 1명
대한경영학회지
2016
.06
다독프로그램에서 책 진열방식이 읽기자세 및 동기에 미치는 영향
강치영
미래영어영문학회 학술대회 자료집
2010
.05
아리스토텔레스 『범주론』에 대한 17세기 중국 서문의 출처 : 『명리탐』과 신플라톤학파의 주석 전통
허민준
인간·환경·미래
2016
.04
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-581-001028123