초미세 공정에 적합한 ICP(Inductive Coupled Plasma) 식각 알고리즘 개발 및 3차원 식각 모의실험기 개발

이영직 ,  박수현 ,  송명식 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

쌍극성표동 효과와 이체충돌효과를 고려한 ICP(Inductive Coupled Plasma) 3차원 식각

이영직 ,  이강환 ,  이주율 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

U Type Ferrite Core를 이용한 Inductive Coupled Plasma Source에 관한 연구

남창우

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

ICP 에 의한 Pt 박막의 식각 메카니즘에 관한 연구 ( The Study on the etching mechanism of Pt thin film by inductive Coupled plasma )

권광호 ,  김창일 ,  윤선진 외 2명

전자공학회논문지-D

1997 .06

Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF₄/O₂ 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각

박상준 ,  강석진 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 건식 식각시 산소 가스 첨가 효과

金南勳 ,  金昌日 ,  權光虎 외 1명

전기학회논문지 C

1999 .06

할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구

김두산 ,  박진우 ,  이원오 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

C₂C1F₅-O₂혼합가스를 사용한 포토레지스트의 건식식각 특성

최영규 ,  이진희 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Plasma식 배가스 처리기술

윤종필

공기청정기술

2001 .01

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

E-ICP에 의한 산화막 식각특성

조수범 ,  송호영 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

자동차용HALOGEN LAMP의 동향

이안소 ,  홍용화

한국자동차공학회 학술강연 초록집

1989 .09

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구

엄두승 ,  허경무 ,  박정수 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Halogen Free 난연 케이블의 제특성 및 개발

최원규 ,  최용 ,  서세종 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각

이성현 ,  노호섭 ,  최경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01