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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
조남인 (선문대학교 전자정보통신공학부) 김민철 (선문대학교 전자정보통신공학부) 강찬민 (선문대학교 전자정보통신공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
23 - 25 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2003

멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각
조남인 ,  강창민 한국반도체장비학회지 2003.01 학술저널
단결정 실리콘의 이방성 습식식각
조남인 ,  김민철 ,  강찬민 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

2002

KOH 용액 및 KOH - IPA 혼합용액에 의한 단결정 실리콘의 이방성식각 특성
조남인 ,  천인호 Applied Science and Convergence Technology 2002.12 학술저널

초록· 키워드

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단결정 실리콘의 이방성 습식식각을 위하여 KOH 용액을 사용하여 식각 특성을 관찰하였다. 식각율은 식각액의 온도와 농도에 따라 변하는 것이 관찰되었으며, 패턴 형성 방향과 식각액의 농도에 따라 식각 형태가 다름도 알 수 있었다. 식각용액의 농도 20wt0% 이고 식각 시의 온도가 $80^{\circ}C$ 이상에서는 알파벳 "U" 자 모양의 형태로 식각이 이루어지고, 그 이하의 온도와 농도에서는 "V" 자 모양의 식각형태가 이루어졌다.; 자 모양의 식각형태가 이루어졌다.

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