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마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
자기장 분포 제어에 의한 마그네트론 스퍼터링 증착 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .07
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 구리박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성 ( The Characteristics of Aluminum Thin Films Deposited by DC Magnetron Sputtering )
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
고주파 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO박막의 증착변수와 열처리온도에 따른 c축 배향성 연구
전기학회논문지
1996 .06
마그네트론 스퍼터 증착법으로 증착한 ZnO계 투명전극의 특성과 응용
인포메이션 디스플레이
2010 .01
화학기상증착 및 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 절연박막의 물성 분석 및 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 정적 증착과 동적 증착에 의한 박막특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 anatase TiO₂ 박막의 증착거동 및 광학적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향
한국표면공학회지
1996 .08
마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 증착막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
The Development of Industrial Magnetron Power Supply
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
Investigation of Influence of Deposition Strategies on Thermo-Mechanical Characteristics of Planar Deposition Using a Directed Energy Deposition Process
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
마그네트론 전용 해석 프로그램의 개발과 해석
한국생산제조학회지
2009 .04
3극 마그네트론 스퍼트링 화학 기상 증착법에 의한 도전성 다이아몬드성 탄소 박막의 합성
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .11
마그네트론 스퍼터링 시스템의 방열 성능 향상에 관한 연구
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2006 .08
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